窒素ガス発生装置 > PSA+MAX O2方式
窒素ガス発生装置 膜分離方式
フクハラの窒素ガス発生装置
PSA方式と酸素吸収装置を組み合わせて、窒素純度は99.999%以上。
| MAXN2® PSA+MAX O2方式 | ||
圧縮空気からPSA方式で製造された純度99.99%の窒素ガスを、MAX O2酸素吸収装置を通過させることにより、純度99.999%以上の高純度窒素ガスを製造することができます。 |
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窒素ガス発生装置 PSA+MAX O2方式 フロー図
PSA+MAX O2方式の窒素ガス発生フローです。
窒素ガス発生装置 PSA+MAX O2方式 仕様
コンプレッサーまたは圧縮空気をご用意ください。
| 窒素ガス発生装置※7 形 式 |
N2S5-5 | N2S5-10 | N2S5-15 | N2S5-20 | N2M5-17 | N2M5-32 | N2M5-53 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 圧縮機出力 kW | 0.4 | 0.75 | 1.5 | 2.2 | 1.5 | 2.2 | 3.7 | |
| 適用コンプレッサ | <注> | <注> | <注> | <注> | <注> | <注> | <注> | |
| 必要空気量 (エアードライヤー付) |
圧力 MPa | 0.6 | 0.6 | 0.6 | 0.6 | 0.8 | 0.8 | 0.8 |
| 流量 L/min | 45 | 90 | 135 | 180 | 160 | 250 | 410 | |
| 窒素ガス純度※1 % | 99.999%以上・酸素のみ10ppm以下※5 | |||||||
| 窒素ガス発生量 | m3/h※2 | (0.19) | (0.38) | (0.58) | (1.28) | (1.1) | (2.1) | (3.4) |
| L/min※2 | (3.2) | (6.4) | (9.6) | (21.4) | (18.2) | (34.2) | (56.7) | |
| NL/min※3,4 | 3 | 6 | 9 | 20 | 17 | 32 | 53 | |
| 窒素ガス取出圧力 MPa | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.45 | 0.45 | 0.45 | 0.45 | |
| 電源電圧 V | 交流100 (電源コード、プラグ付) | |||||||
| 酸素吸収装置形式※6・本数 | O2F-50×1本 | O2F-100×1本 | ||||||
| エアードライヤー 本体 | 形式 | D22A-PM-1 (AC100V) | ||||||
| 外形寸法 W×D×Hmm | 245×414×482 | |||||||
| 質量 kg | 21 | |||||||
| PSA本体 | 外形寸法 W×D×Hmm |
400 × 460 × 850 |
480 × 620 × 950 |
600 × 730 × 1,300 |
600 × 650 × 1,300 |
500 × 610 × 1,350 |
510 × 610 × 1,350 |
560 × 730 × 1,550 |
| 質量 kg | 50 | 80 | 100 | 110 | 130 | 150 | 200 | |
| O2F本体 | 外形寸法 W×D×Hmm |
180×180×930 | 230×230×1,130 | |||||
| 質量 kg | 40 | 80 | ||||||
| 窒素ガス発生装置※7 形 式 |
N2M5-87 | N2M5-108 | N2M5-167 | N2M5-217 | N2L5-250 | N2L5-333 | N2L5-500 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 圧縮機出力 kW | 5.5 | 7.5 | 11 | 15 | 11 | 15 | 22 | |
| 適用コンプレッサ | <注> | <注> | <注> | <注> | <注> | <注> | <注> | |
| 必要空気量 (エアードライヤー付) |
圧力 MPa | 0.8 | 0.8 | 0.8 | 0.8 | 0.83 | 0.95 | 0.95 |
| 流量 L/min | 660 | 820 | 1,230 (1.23m3/min) | 1,640 (1.64m3/min) |
1,800 (1.8m3/min) | 2,200 (2.2m3/min) |
3,200 (3.2m3/min) |
|
| 窒素ガス純度※1 % | 99.999%以上・酸素のみ10ppm以下※5 | |||||||
| 窒素ガス発生量 | m3/h※2 | (5.6) | (6.9) | (10.7) | (14.1) | (16.1) | (21.4) | (32.1) |
| L/min※2 | (93.1) | (115.6) | (178.7) | (234.4) | (267.5) | (356.3) | (535) | |
| NL/min※3,4 | 87 | 108 | 167 | 217 | 250 | 333 | 500 | |
| 窒素ガス取出圧力 MPa | 0.45 | 0.45 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
| 電源電圧 V | 交流100 (電源コード、プラグ付) | 交流200(単相) | ||||||
| 酸素吸収装置形式※6・本数 | O2F-100×2本 | O2F-100 ×3本 | O2F-100 ×4本 |
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| エアードライヤー 本体 | 適用形式 | D22A-PM-1 (AC100V) | DS37-SM-1(単相AC200V) | DS75-SM-2 (単相AC200V) |
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| 外形寸法 W×D×Hmm | 245×414×482 | 304×540×996 | 338 × 600 × 1,081 |
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| 質量 kg | 21 | 35 | 42 | |||||
| PSA本体 | 外形寸法 W×D×Hmm |
900 × 800 × 1,840 |
900 × 800 × 1,840 |
1,300 × 950 × 2,000 |
1,670 × 950 × 2,000 |
1,200 × 1,130 × 1,900 |
1,300 × 1,300 × 1,950 |
1,350 × 1,300 × 1,950 |
| 質量 kg | 440 | 460 | 520 | 580 | 1,500 | 1,600 | 2,000 | |
| O2F本体 | 外形寸法 W×D×Hmm |
230×230×1,130 | 230 × 230 × 1,130 | 230 × 230 × 1,130 |
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| 質量 kg | 21 | 35 | 42 | |||||
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※1:窒素ガス+アルゴンガスの値です。 ※2:工業的な標準状態 温度20℃、湿度65%、大気圧に換算した値(コンプレッサー業界で常用) ※3:学術的な標準状態 温度0℃、湿度0%、大気圧に換算した値(ガス業界で常用) ※4:Fkフクハラの窒素ガス発生装置のガス発生量は温度35℃時の保証値(性能に十分余裕があります。) ※5:PSA方式窒素ガス発生装置から発生する99.99%の窒素ガスに残存する酸素を更に酸素吸収装置で吸収し、99.999%以上に高めます。 ※6:約3,000時間にてO2F-100(50)の点検・交換が必要です。 ※7:窒素ガス発生装置形式には酸素吸収装置とエアードライヤーは含まれている形式を表しています。 |
